歐姆龍又又又上電視啦!
據(jù)北京衛(wèi)視報道,該廠商自主研發(fā)出了高速集成電路制造晶圓倒片機,每小時300片以上的倒片速度指標,達到了國際先進水平,成為國內(nèi)首創(chuàng)的高速集成電路制造晶圓倒片機,打破了國際壟斷。
晶圓倒片機是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設備,它的任務是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進行下一道程序,這就要求晶圓倒片機擁有極高的傳送效率和精度控制。
如何實現(xiàn)納米級的高精度控制?
這款高速集成電路制造晶圓倒片機,能實現(xiàn)納米級的高精度控制的關(guān)鍵,就是歐姆龍可編程多軸運動控制器CK3M??捎糜诎雽w、FPD制造、檢查裝置,實現(xiàn)了曝光裝置、線性編碼器、點膠機、鏡片檢查裝置等的精密動作。
超高速同步控制
具有伺服循環(huán)50μs/5軸的高水平*1的運動控制技術(shù)。憑借高速反饋控制,在精密加工方面可實現(xiàn)高精度的軌跡控制。
1. 截至2018年3月 本公司調(diào)查結(jié)果
憑借高速伺服循環(huán)實現(xiàn)高精度的軌跡控制
通過高速接收反饋值并在指令值(目標值)中做出修正,實現(xiàn)更接近設計值的軌跡控制。
歐姆龍憑借超高速伺服循環(huán)運算,高速高精度控制邁入新領域。
壓倒性的運算速度可進一步實現(xiàn)客戶裝置的高精度化。
提升客戶裝置,突破限制的阻礙,引導裝置發(fā)揮出超高性能!
通過CK3M,高精度地控制精密的機械機構(gòu)
將CK3M與高性能的驅(qū)動器、光柵尺和精密的機械機構(gòu)組合,可以實現(xiàn)需要高速、高精度控制的各種應用。
廣泛應用于要求超高速響應性能的精密直線電機驅(qū)動控制、納米級定位控制等以半導體制造裝置為代表的尖端設備。
歐姆龍始終致力于解決生產(chǎn)中出現(xiàn)的課題,推動生產(chǎn)革新。尤其是歐姆龍智能制造理念「i-Automation!」中的integrated(控制升級)。為了實現(xiàn)更高品質(zhì)、更高效率的生產(chǎn),要確??勺畲笙薅鹊匕l(fā)揮機械性能,幫助客戶實現(xiàn)高速、高精度控制!
(審核編輯: 智匯lucy)
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