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“SCAM”有望被GaN LED基板采用 藍色LED電流密度將大幅提高

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關(guān)鍵詞: SCAM,GaN LED基板,藍光LED

      藍色LED和藍紫色半導體激光器用基板有望采用鋁鎂酸鈧(ScAlMgO4,通稱:SCAM)。SCAM的特點是,與GaN的晶格失配度只有1.8%,便于抑制位錯等結(jié)晶缺陷。與采用藍寶石基板相比,易于提高藍色LED的電流密度。

    圖示:SCAM結(jié)晶成為GaNLED

      以前的SCAM結(jié)晶不是單晶,而是多晶,且尺寸只有小拇指大小,現(xiàn)在福田結(jié)晶技術(shù)研究所成功開發(fā)出了口徑為2英寸的高品質(zhì)SCAM單晶。采用的是“旋轉(zhuǎn)拉升法(CZ法)”。

      出現(xiàn)了把SCAM結(jié)晶作為生長GaN類半導體的基板使用的動向。福田結(jié)晶技術(shù)研究所試制了口徑為2英寸的SCAM結(jié)晶。目前主要面向LED,將來還打算用于功率元件。

      SCAM可通過裂解加工法從硅錠制作晶圓,因此有望實現(xiàn)低成本化。該研究所對試制的SCAM結(jié)晶進行裂解加工,利用X射線衍射法評估了其C面,結(jié)果發(fā)現(xiàn)其半寬度為12.9秒,結(jié)晶品質(zhì)跟Si的完全結(jié)晶相當。

      福田結(jié)晶技術(shù)研究所預定2015年春銷售2英寸的SCAM基板。還將開發(fā)4~6英寸的基板。

      此外,該研究所還打算在SCAM結(jié)晶上形成低位錯的厚GaN結(jié)晶,將這種GaN結(jié)晶作為形成電子元器件的“GaN獨立基板”。設(shè)想主要用于GaN功率元件的制造。
     

     

    (審核編輯: 智匯張瑜)

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